製造装置の導入支援
半導体装置調達・装置レイアウト提案
- スパッター、コーター、露光機、洗浄装置など前工程装置の調達支援
- 製造レイアウトの効率化提案
- EUV/DUV装置など最先端装置の選定・調達
- 製造ラインの効率化を実現
- 装置メーカーとの強いネットワークを活用
半導体中古装置再構成
- 中古装置の提案から新装置との組合せ再構成
- 中古装置の選定と周辺機器の提案
- 先端プロセス対応可能な装置改造の提供
- コスト効率の高い装置構成の実現
- 一貫したサポート体制
レイアウト最適化
- 製造フローを考慮した効率的なレイアウト設計
- クリーンルーム空間とOHTの有効活用
- 良品効率の歩留まり向上を実現
- 生産性向上に貢献するレイアウト提案
- 将来の拡張性を考慮した設計
装置設置・立上げ
装置の搬入から設置、立上げ、パイロットライン稼働、装置プロセス条件出し、1次試作～6次試作、量産化までの全工程を一貫して支援します。専門チームによる立上げ期間の短縮とレシピ作成により、早期の量産化を実現し、お客様の競争力強化に貢献します。
一気通貫型装置支援の特徴
- 装置導入プロジェクトの期間短縮とリスク低減
- 装置メーカーとの強いネットワークを活用
- 迅速な問題解決力で現場の課題に対応
- グローバル対応可能な多言語サポート体制